打破日韓壟斷，中國高端靶材取得突破，可用于芯片制造

但芯片行業非常復雜，涉及到各類半導體設備，材料和軟硬件技術等等。就拿材料來說，靶材是一項關鍵技術領域。而中國打破美日壟斷，取得了高端靶材的突破。這是怎樣的技術呢？在芯片領域又有多大的價值意義？

中國破冰高端靶材

一顆手機SOC芯片只有指甲蓋大小，看起來平平無奇，其實內含全球頂級的科技水平。制造一顆芯片需要用上光刻機設備，光刻膠材料。

從設計到制造，再到封測，每一個環節都會經歷幾十，上百道步驟。而每個步驟的背后，需要配套的產業鏈技術支持。

別的暫且不說，在材料方面靶材就足以付出巨大的努力。靶材究竟是怎樣的材料呢？有怎樣的作用呢？

都知道芯片是具有導電性的，這樣才能傳輸電子信號，完成指令的輸入并進行反饋。而靶材在芯片制造的過程中，充當的作用就是承受離子束的轟擊，然后釋放出具有導電的薄膜。

在這層薄膜的導電特性下，芯片電路才能正常運轉。靶材的原理說起來簡單，但是做起來可沒那麼容易。而且根據應用領域的不同，靶材的種類和技術要求也不一樣。

在芯片領域，使用的靶材有很高的純度要求，達到了99.999%的水準。除了材料本身，其制備技術也是關鍵。如何讓靶材釋放出導電的薄膜，就需要掌握濺射技術了。

如果沒有先進濺射技術的支持，離子束轟擊靶材的結果就是原子四處分散，無法聚焦在一個層面，更無法形成導電的薄膜了，因為突破濺射技術成為了突破高端靶材的突破口。

縱觀全球，這項技術及市場被日韓壟斷，市場份額高達80%，并建立了夯實的核心技術體系。想要參照對方的技術來自研幾乎是不可能的，因為核心技術被對方嚴厲封鎖，只能靠自己一步一步摸索。

在不斷的失敗中積累經驗，找尋突破的方向。好的一面是，中國最終還是突破了高端靶材，可用于芯片制造。

而取得突破的關鍵人物就是中國工程院院士何季麟。在數年前，何季麟帶領團隊成功完成了高性能ITO濺射靶材制備技術破冰。

這意味著國內具備建設靶材制備技術體系，能夠基于這些制備技術加快靶材的市場應用，在芯片、顯示面板、光伏等行業充分發揮靶材的重要基材作用。中國破冰高端靶材，掌握制備技術只是其一。事實上，我國在過去二十年一直深耕靶材市場。

靶材起初這只是一項不起眼的技術，在2000年時全球靶材市場廠商也只有幾十家，市場規模遠遠比不上手機、電腦、電視等等。但隨著智能消費電子產品的崛起，對芯片的需求更高了，而靶材作為芯片制造的原材料之一，自然而然引起了重視。

何季麟院士和研發團隊開始了深入研究，困難肯定是存在的，但在不斷的厚積薄發下，功夫不負有心人，邁出了破冰的最終一步。

除此之外，企業層面也迎來眾多國產廠商的參與。比如國內靶材巨頭江豐電子在2005年成立，彼時國內靶材市場初具規模，江豐電子看中了這一市場潛力便持續深耕。

截至目前，江豐電子在靶材的原材料，制備技術等方面都掌握了核心話語權，在靶材上下游市場中均有布局。

不僅如此，中國靶材穩步前行，在2022年底，江豐電子聯合秦川機床共同建設半導體靶材高端裝備協同創新中心。

該創新中心將聚焦高端靶材材料，裝備和各類核心技術進行創新突破，為國產靶材市場添磚加瓦。

眼看國產靶材市場快速崛起，國外供應商開始著急了。在價格上大幅下調，比如應用于顯示領域的ITO靶材價格一度下滑75%，似乎想用價格戰來維持市場地位。只不過晚了，降價只是一回事，能否超越國產靶材品質又是另外一回事。

中國靶材市場走過了20年，有何季麟的攻堅克難，也有江豐電子的商業布局，讓中國靶材從無到有，從低端到高端。相信在持續努力下，定能取得更大的進展。